-
Alumina nagy pontosságú kerámia gyűrű kerámia alkatrészek
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
ST.CERA Testreszabott Félvezető Berendezések Kerámia Tokmányok
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
Szilícium-karbid (SiC) kerámia effektor – Nagy merevség a magas hőmérsékletű szeletkezeléshez
A St.Cera SiC kerámia effektora nagy tisztaságú szilícium-karbidból (SiC-tartalom 99,72%, szabad Si 0,05%) készül, S1111 alapanyag felhasználásával. Kivételes mechanikai tulajdonságokkal rendelkezik: hajlítószilárdság 449 MPa (mért), rugalmassági modulus 457 GPa (mért) és Vickers-keménység 25–28 GPa (tipikus). Az alacsony sűrűség (3,10–3,15 g/cm³, tipikus) nagy fajlagos merevséget biztosít, ami ideális a nagy sebességű wafer transzfer robotokhoz. 120–150 W/m·K (tipikus) hővezető képességével és 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipikus) hőtágulási együtthatójával ez az effektor hatékonyan vezeti el a hőt és megőrzi a méretstabilitást magas hőmérsékletű kezelés során (akár 1600–1700°C-ig, terhelés nélkül). A fekete/szürke szín és a nulla vízfelvétel tisztatéri kompatibilitást biztosít.
-
Szilícium-karbid (SiC) alapú vákuumos tokmány magas hőmérsékletű és plazma környezetekhez
A St.Cera SiC alapú kerámia tokmánya nagy tisztaságú szilícium-karbidból (S1111 gyártási tétel, SiC 99,72%, szabad Si 0,05%) készül. A mért hajlítószilárdság 449 MPa, törési szívósság 3,12 MPa·m¹/², rugalmassági modulusa pedig 457 GPa. Az anyag tipikus hővezető képessége (120–150 W/m·K) és alacsony hőtágulása (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) lehetővé teszi a gyors hőmérséklet-emelkedést és a minimális ostyavetemedést a hőciklusok során. A tokmány porózus vákuumtokmányként (egyenletes gázáramlás) vagy hornyolt standard tokmányként konfigurálható. 1600–1700°C maximális üzemi hőmérsékletével (terhelés nélkül) és kivételes plazmaerózióval szembeni ellenállásával ez a tokmány ideális magas hőmérsékletű ostyafeldolgozáshoz (lágyítás, RTP) és agresszív maratókamrákhoz, ahol az alumínium-oxid tokmányok degradálódnak.
-
Félvezető berendezések Kerámia alkatrészek Kerámia hordozók
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
Fémhátlapú alumínium-oxid kerámia csiszológyűrű nagy merevségű leppeléshez
A St.Cera fémalapú alumínium-oxid csiszológyűrűje egy nagy tisztaságú alumínium-oxid (99,8% Al₂O₃) kerámia kopóréteget ötvöz egy precíziósan megmunkált fém hátlappal (jellemzően alumínium vagy rozsdamentes acél). Ez a hibrid kialakítás kivételes kopásállóságot és kémiai inertséget biztosít a kerámia csiszolófelületén, míg a fém alap mechanikai szilárdságot, könnyű szerelhetőséget és ridegtöréssel szembeni ellenállást biztosít. Az alumínium-oxid réteg 361 MPa hajlítószilárdságot, 16 GPa Vickers-keménységet és akár 800°C-ig terjedő hőstabilitást kínál. A fém alap rögzítőfuratokkal, pozicionáló csapokkal vagy mágneses tulajdonságokkal testreszabható a leppelő gépekbe, bolygócsiszolókba és CMP berendezésekbe való integráláshoz.
-
Kerámia alkatrészek félvezető szondaállomás-berendezésekhez
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
Al2O3 kerámia ostyatokmány testreszabott feldolgozása
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
ST.CERA Testreszabott Félvezető Berendezés Kerámia Lemez
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
12 hüvelykes alumínium-oxid vákuumos tokmány 300 mm-es ostyafeldolgozáshoz
A St.Cera 12 hüvelykes vákuumos tokmánya 99,8%-ban nagy tisztaságú alumínium-oxidból (Al₂O₃) készült precíziós tervezéssel, 300 mm-es ostyakezeléshez. A tokmány finoman barázdált felülettel rendelkezik (horonyszélesség 0,5–1,0 mm, menetemelkedés 2–3 mm), hogy egyenletes vákuumeloszlást biztosítson a teljes 300 mm-es átmérőn. A síkfelület 5 μm-en belül marad, ami lehetővé teszi a vetemedésmentes ostyarögzítést a darabolás, a hátoldali köszörülés és az ellenőrzés során. Az anyag nagy hajlítószilárdsága (361 MPa) és keménysége (16 GPa) hosszú távú méretstabilitást garantál még ismételt vákuumciklusok alatt is.
-
Alumínium-oxid kerámia effektor integrált vákuumcsatornákkal
A St.Cera alumínium-oxid vákuumos effektora precíziósan megmunkált vákuumcsatornákat és szívónyílásokat integrál közvetlenül a 99,8%-os, nagy tisztaságú alumínium-oxid testbe. Ez a kialakítás kiküszöböli a külső vákuumpárnákat, lehetővé téve a közvetlen ostyafelvételt egyenletes tartóerővel. Az anyag nagy hajlítószilárdsága (361 MPa) és keménysége (16 GPa) hosszú távú méretstabilitást biztosít ismételt vákuumciklusok alatt. A párna felületének síkfelülete 10 μm-en belül marad, megakadályozva az ostya feszültségét és törését. A vákuumcsatlakozók a hátsó rögzítőperemnél találhatók, így könnyen integrálhatók az OEM robotkarokba.
-
ESD-biztos alumínium-oxid kerámia alkatrészek statikusan érzékeny ostyák kezeléséhez
A St.Cera ESD (elektrosztatikus kisülés) elleni védelemmel ellátott alumínium-oxid kerámia alkatrészei 99,8%-ban nagy tisztaságú Al₂O₃-ból készülnek, 10⁶–10⁹ Ω/sq felületi ellenállással, amelyet egy szabadalmaztatott adalékolási vagy bevonási eljárással érnek el. Ezek az alkatrészek hatékonyan elvezetik a sztatikus töltést, megakadályozva az érzékeny félvezető ostyák és eszközök elektrosztatikus károsodását. Az alapanyag megőrzi nagy hajlítószilárdságát (361 MPa), keménységét (16 GPa) és dielektromos szilárdságát (15×10⁶ V/m). Az ESD-biztos kerámia alkatrészek közé tartoznak az effektorok, emelőcsapok, vezetősínek és egyedi szerelvények az FAB automatizáláshoz.
