A hagyományos Al₂O₃ és BeO szubsztrát anyagok átfogó teljesítményelőnyeivel kombinálva az alumínium-nitrid (AlN) kerámia, amely magas hővezető képességgel (a monokristály elméleti hővezető képessége 275 W/m▪k, a polikristály elméleti hővezető képessége 70~210 W/m▪k), alacsony dielektromos állandóval, az egykristályos szilíciumhoz illeszkedő hőtágulási együtthatóval és jó elektromos szigetelő tulajdonságokkal rendelkezik, ideális anyag áramköri szubsztrátumokhoz és tokozáshoz a mikroelektronikai iparban. A jó magas hőmérsékletű mechanikai tulajdonságai, hőtulajdonságai és kémiai stabilitása miatt fontos anyag a magas hőmérsékletű szerkezeti kerámia alkatrészekhez is.
Az AlN elméleti sűrűsége 3,26 g/cm3, MOHS-keménysége 7-8, szobahőmérsékleten mért ellenállása nagyobb, mint 1016 Ωm, hőtágulása pedig 3,5×10-6/℃ (200 ℃ szobahőmérsékleten). A tiszta AlN kerámiák színtelenek és átlátszóak, de a szennyeződések miatt különböző színűek lehetnek, például szürke, szürkésfehér vagy világossárga.
A magas hővezető képesség mellett az AlN kerámiák a következő előnyökkel is rendelkeznek:
1. Jó elektromos szigetelés;
2. Hasonló hőtágulási együttható a szilícium monokristályhoz képest, jobb, mint az Al₂O₃ és a BeO;
3. Nagy mechanikai szilárdság és hasonló hajlítószilárdság az Al2O3 kerámiákhoz;
4. Mérsékelt dielektromos állandó és dielektromos veszteség;
5. A BeO-hoz képest az AlN kerámiák hővezető képességét kevésbé befolyásolja a hőmérséklet, különösen 200 ℃ felett;
6. Magas hőmérséklet-állóság és korrózióállóság;
7. Nem mérgező;
8. Alkalmazható félvezetőiparban, vegyipari kohászati iparban és más ipari területeken.
Közzététel ideje: 2023. július 14.