Alumina nagy pontosságú kerámia gyűrű kerámia alkatrészek
Rövid leírás:
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.