ESD-biztos alumínium-oxid kerámia alkatrészek statikusan érzékeny ostyák kezeléséhez
A St.Cera ESD (elektrosztatikus kisülés) elleni védelemmel ellátott alumínium-oxid kerámia alkatrészei 99,8%-ban nagy tisztaságú Al₂O₃-ból készülnek, 10⁶–10⁹ Ω/sq felületi ellenállással, amelyet egy szabadalmaztatott adalékolási vagy bevonási eljárással érnek el. Ezek az alkatrészek hatékonyan elvezetik a sztatikus töltést, megakadályozva az érzékeny félvezető ostyák és eszközök elektrosztatikus károsodását. Az alapanyag megőrzi nagy hajlítószilárdságát (361 MPa), keménységét (16 GPa) és dielektromos szilárdságát (15×10⁶ V/m). Az ESD-biztos kerámia alkatrészek közé tartoznak az effektorok, emelőcsapok, vezetősínek és egyedi szerelvények az FAB automatizáláshoz.
Specifikációk(99,8%-os Al₂O₃ alapú, ESD kezeléssel):
| Ingatlan | Érték |
| Alapanyag | 99,8%-os alumínium-oxid |
| Felületi ellenállás (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/négyzet |
| Sűrűség | 3,93 g/cm³ |
| Hajlító szilárdság | 361 MPa |
| Vickers-keménység | 16 GPa |
| Young modulusa | 380 GPa |
| Hőtágulás (25-1000°C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Max. üzemi hőmérséklet | 800°C |
| Átütési szilárdság (ömlesztett) | 15 × 10⁶ V/m |
Megjegyzés: Az ESD felületi ellenállás nem szerepel a mellékelt anyagtulajdonság-táblázatokban. A fenti tartomány az ipari szabvány a disszipatív kerámiákra vonatkozóan. Kérjük, vegye fel velünk a kapcsolatot a tesztjelentésekért.
Alkalmazások:
● ESD-biztos effektorok szeletátvitelhez
● Földelőcsapok és ESD-szerelvények FAB-berendezésekben
● Vizsgálóaljzatok statikusan érzékeny eszközökhöz
● Tisztatéri szerszámok, ahol a sztatikus elektromosság szabályozása kritikus fontosságú
Gyártás és minőség:
Standard alumínium-oxid feldolgozás + ESD felületkezelés → felületi ellenállás mérése az ANSI/ESD STM11.11 szabvány szerint. Minden alkatrészt 100%-ban koncentrikus gyűrűelektródával tesztelnek.
Előnyök:
● Megakadályozza az ESD-vel kapcsolatos hozamveszteséget
● Megőrzi a kerámia mechanikai szilárdságát és vegyi ellenállását
● Nincsenek részecskeképződések a sztatikus kisülésből
