Szilícium-karbid (SiC) kerámia effektor – Nagy merevség a magas hőmérsékletű szeletkezeléshez
A St.Cera SiC kerámia effektora nagy tisztaságú szilícium-karbidból (SiC-tartalom 99,72%, szabad Si 0,05%) készül, S1111 alapanyag felhasználásával. Kivételes mechanikai tulajdonságokkal rendelkezik: hajlítószilárdság 449 MPa (mért), rugalmassági modulus 457 GPa (mért) és Vickers-keménység 25–28 GPa (tipikus). Az alacsony sűrűség (3,10–3,15 g/cm³, tipikus) nagy fajlagos merevséget biztosít, ami ideális a nagy sebességű wafer transzfer robotokhoz. 120–150 W/m·K (tipikus) hővezető képességével és 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipikus) hőtágulási együtthatójával ez az effektor hatékonyan vezeti el a hőt és megőrzi a méretstabilitást magas hőmérsékletű kezelés során (akár 1600–1700°C-ig, terhelés nélkül). A fekete/szürke szín és a nulla vízfelvétel tisztatéri kompatibilitást biztosít.
Specifikációk(a mellékelt SiC S1111 tesztjelentés és a tipikus értékek alapján)):
| Ingatlan | Érték |
| Anyag | SiC (99,72% SiC, 0,05% szabad Si) |
| Szín | Fekete/szürke |
| Sűrűség | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Vízfelvétel | 0% |
| Hajlító szilárdság | 449 MPa (átlag) |
| Törésállóság | 3,12 MPa·m¹/² (átlagos) |
| Rugalmas modulus | 457 GPa |
| Vickers-keménység | 25–28 GPa |
| Hővezető képesség (25°C) | 120–150 W/m·K |
| HTE (25–1000°C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Max. használati hőmérséklet (terhelés nélkül) | 1600–1700°C |
Alkalmazások:
● Magas hőmérsékletű ostyakezelés (utólagos hőkezelés, RTP, epitaxia)
● Nagy erózióállóságot igénylő plazmamaratókamrák
● Nagy sebességű szállítórobotok (könnyű, nagy merevségű)
Gyártás:
SiC por szinterezés → karprofil és rögzítési jellemzők precíziós CNC köszörülése → felületi leppelések → ultrahangos tisztítás. 100%-os méretvizsgálat és héliumszivárgás-teszt vákuumos alkalmazásokhoz.
Minőségellenőrzés:
● CMM-mel végzett hossz-, szélesség- és síkfelület-vizsgálat
● Hajlítószilárdsági vizsgálat tételenként (a vizsgálati jelentés szabványa szerint)
● Mikroszkóp alatti vizuális ellenőrzés felületi hibák szempontjából
Előnyök az alumínium-oxiddal vagy fémmel szemben:
● 2× nagyobb rugalmassági modulus (457 GPa vs. ~380 GPa alumínium-oxid esetén) – kisebb elhajlás
● 3× nagyobb hővezető képesség – gyorsabb hőelvezetés
● Levegőn >1600°C-ot bír ki az alumínium-oxid 800°C-ával szemben
● Alacsonyabb sűrűség, mint az acélé – 40%-os súlycsökkenés
Testreszabás:
150–450 mm hosszúságok, hegyformák (élbefogású, Bernoulli, lapos), rögzítőperem minták az OEM rajzok szerint.
*A fenti összes mechanikai adat a mellékelt vizsgálati jelentésből származik (S1111 tétel). A hő- és keménységi értékek tipikusak erre a SiC minőségre; kérjük, vegye fel velünk a kapcsolatot a tételspecifikus tanúsításért.*
