12 hüvelykes alumínium-oxid vákuumos tokmány 300 mm-es ostyafeldolgozáshoz
A St.Cera 12 hüvelykes vákuumos tokmánya 99,8%-ban nagy tisztaságú alumínium-oxidból (Al₂O₃) készült precíziós tervezéssel, 300 mm-es ostyakezeléshez. A tokmány finoman barázdált felülettel rendelkezik (horonyszélesség 0,5–1,0 mm, menetemelkedés 2–3 mm), hogy egyenletes vákuumeloszlást biztosítson a teljes 300 mm-es átmérőn. A síkfelület 5 μm-en belül marad, ami lehetővé teszi a vetemedésmentes ostyarögzítést a darabolás, a hátoldali köszörülés és az ellenőrzés során. Az anyag nagy hajlítószilárdsága (361 MPa) és keménysége (16 GPa) hosszú távú méretstabilitást garantál még ismételt vákuumciklusok alatt is.
Specifikációk (99,8%-os Al₂O₃-tartalom alapján):
| Ingatlan | Érték |
| Átmérő | 300 mm (12 hüvelyk) |
| Anyag | 99,8% alumínium-oxid (elefántcsont) |
| Sűrűség | 3,93 g/cm³ |
| Hajlító szilárdság | 361 MPa |
| Vickers-keménység | 16 GPa |
| Síkfelület (300 mm felett) | ≤5 μm |
| Horony szélessége | 0,5–1,0 mm |
| Max. üzemi hőmérséklet | 800°C |
| Átütési szilárdság | 15 × 10⁶ V/m |
Alkalmazások:
300 mm-es ostya kockázása és karcolása
Osztály hátoldalának csiszolása (vékony ostyatartó)
Optikai vizsgálat és szondázás
Ideiglenes kötés-/kötéseltávolító tokmányok
Gyártás:
CNC-csiszolt és végső síkfelületre leppelt, gyémánttárcsákkal hornyolt, ultrahangos tisztítású és 100-as osztályú tisztatérben csomagolt. Minden tokmányt 100%-ban ellenőriznek síkfelület (lézeres interferométer) és horonymélység (profilométer) szempontjából.
Előnyök:
Alacsony részecskeképződés (≤0,05 részecske/cm²)
Kémiailag inert oldószerekkel és savakkal szemben
ESD-biztos felület (ellenállás >10¹³ Ω·cm)
Egyedi vákuumfurat-mintázatok és hátoldali portok állnak rendelkezésre.
