Porózus kerámia vákuumos tokmány vetemedett ostyák kezeléséhez
A St.Cera porózus kerámia tokmánya nagy tisztaságú alumínium-oxidból készül, egyenletes, 30–45%-os nyitott porozitással és 10–100 μm közötti pórusmérettel. A hagyományos hornyolt tokmányokkal ellentétben a porózus felület elosztott vákuumot biztosít a teljes ostya hátoldalán, hatékonyan megtartva a görbült, vékony vagy egyenetlen ostyákat a szélek felemelése vagy törés nélkül. A gyengéd vákuum (szűkítővel állítható) a hátoldalon történő nyomkodást is megakadályozza.
Specifikációk(99,6%-os Al-ra alapozva)₂O₃):
| Ingatlan | Érték |
| Porozitás | 30–45% |
| Átlagos pórusméret | 10–100 μm (választható) |
| Hajlító szilárdság | ≥250 MPa |
| Síkfelület (300 mm felett) | ≤5 μm |
| Felületkezelés | Átfedés (Ra 0,8 μm) |
| Max. vákuumszint | -80 kPa |
| Üzemi hőmérséklet | 400°C (levegő), 600°C (inert) |
| Anyag | 99,6% Al2O3, ZrO2 vagy SiC |
Alkalmazások:
Vékony ostya (≤50 μm) hátoldali csiszolás
Vezérelt ostya rögzítés kockázáshoz
Egyedi szerszámfelvétel a szalagról
Üvegpanel kezelése
Gyártás és minőség:
Kerámia por szerves pórusképzőkkel keverve → préselve → szinterezve → végső vastagságra leppelve. Minden egyes tokmányt áramlásvizsgálatnak vetnek alá vákuumegyenletesség szempontjából (≤5%-os eltérés) és pórusméret-eloszlás (SEM) szempontjából. A síkfelületet lézeres interferométerrel mérik.
Előnyök a hornyolt tokmányokkal szemben:
Nincs ostyaél-jelölés vagy szerszámeltolódás
Görbült lapkákat tart (akár 500 μm-es ívben)
Megszünteti a vákuumfuratok eltömődését
Önterülő tartó vékony aljzatokhoz
Testreszabás:
Kerek vagy téglalap alakú formák, akár 600 mm-es méretig. Használhatunk éltömítő gyűrűket vagy zónás vákuumos válaszfalakat. Nagy merevségi követelményekhez fém hátlapú változatok is kaphatók.
Kérjen mintát az ostya méretéhez és a vetemedési teszthez.









