Alumínium-oxid gázelosztó lemez CVD/PVD zuhanyfejhez
A St.Cera gázelosztó lemeze (zuhanyfeje) precíziós megmunkálással készül, nagy tisztaságú, 99,8%-os alumínium-oxid kerámiából. Mikrofuratokkal (0,3–1,5 mm átmérőjű) rendelkezik, amelyek biztosítják az egyenletes gázáramlást a lapka felületén CVD, PVD vagy ALD eljárások során. A lemez nagy dielektromos szilárdsága (>15×10⁶ V/m) és plazmaellenállása elengedhetetlenné teszi a félvezető vékonyréteg-leválasztáshoz.
Specifikációk:
| Ingatlan | Érték |
| Anyag | 99,8% Al₂O₃ vagy SiC |
| Átmérő | 100 – 1500 mm (kerek vagy téglalap alakú) |
| Vastagság | 5 – 20 mm |
| Lyuk átmérője | 0,3 – 1,5 mm |
| Lyukminta | Egyedi (háromszög, négyzet, radiális) |
| Síkfelület | ≤10 μm teljes felületen |
| Felületi érdesség | Ra ≤0,6 μm (gázoldal) |
| Nyitott terület aránya | 5–15% |
Alkalmazások:
PECVD zuhanyfej lemezek
ALD gázbefecskendezők
Maratókamra gázelosztó lemezei
MOCVD reaktor alkatrészek
Gyártás:
Alumínium-oxid hordozó laposra csiszolva → CNC fúrás gyémántbevonatú szerszámokkal (furatpozíció-tűrés ±0,02 mm) → sorjátlanítás → ultrahangos tisztítás → 100-as osztályú csomagolás.
Minőségellenőrzés:
Minden egyes lemezt 100%-ban ellenőriznek a lyukméret (vizuális rendszer), a síkfelület (lézeres interferométer) és a gázáramlás egyenletessége (nyomástérképezés) szempontjából. 20x-os mikroszkóp alatt nincsenek mikrorepedések.
Előnyök a fémlemezekkel szemben:
Nincs fémszennyeződés a vékony filmekben
Alacsonyabb részecskeképződés (nincsenek korróziós pelyhek)
Ellenáll az agresszív tisztítóplazmáknak (CF₄, NF₃)
Egyedi funkciók:
Hátoldali gázcsatornák, süllyesztett furatok, éltömítések és különböző anyagminőségek (SiC a nagyobb hővezető képességért, Y₂O₃ bevonat a plazmaállóságért).
Gyártás előtt CAD-ellenőrzést és áramlásszimulációt biztosítunk.
