Kerámia tartócsap félvezető folyamatrögzítőkhöz
A St.Cera kerámia támasztócsapjait (más néven emelőcsapokat vagy támasztócsapokat) félvezető folyamatkamrákban használják waferek vagy szubsztrátok megemelésére kezelés, melegítés vagy hűtés közben. 99,8%-os alumínium-oxidból vagy szilícium-nitridből készült csapok, amelyek nagy nyomószilárdságot, hőstabilitást és vegyi ellenállást biztosítanak. A félgömb alakú vagy lapos hegyű kialakítás megakadályozza a wafer karcolódását.
Specifikációk(99,8%-os alumínium-oxid):
| Ingatlan | Érték |
| Anyag | 99,8% Al₂O₃ vagy Si₃N₄ |
| Hossz | 10 – 100 mm |
| Átmérő | 1 – 10 mm |
| Hegy alakja | Lapos, félgömb alakú, hegyes |
| Nyomószilárdság (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Max. üzemi hőmérséklet (Al₂O₃) | 1600°C |
| Felületkezelés | Átfedés (Ra ≤0,4 μm) |
| Átmérő toleranciája | ±0,01 mm |
Alkalmazások:
Emelőcsapok CVD/PVD kamrákban
Támasztócsapok főzőlapos sütéshez
Vizsgálókártya tartószerkezetei
Kvarckemence hajótámaszok
Gyártás:
Precíziós, középpont nélküli külső átmérőjű köszörülés → gyémántcsiszolás a csúcsprofilon → ultrahangos tisztítás → 100%-os méretellenőrzés.
Minőségellenőrzés:
Koordináta mérőgép (CMM) hossz/átmérő mérésére, optikai komparátor a csúcssugár mérésére, terheléses vizsgálat a nyomószilárdság ellenőrzésére (véletlenszerű minta tételenként). Nincs ferromágneses szennyeződés (mágnessel ellenőrizve).
Előnyök a fém vagy kvarc csapokkal szemben:
5-ször hosszabb élettartam, mint a rozsdamentes acélé
Nincs fémszennyeződés a folyamatkamrában
Magasabb hőmérséklet-tűrés, mint a kvarc (1600°C vs. 1100°C)
Tapadásmentes felület (csökkentett részecsketapadás)
Testreszabás:
Többszörös hegyprofilok, menetes talp vagy kúpos tengely.
Extrém plazmakörnyezetekhez SiC csatlakozókat is szállítunk.
