Nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámia gyűrű CVD / PVD folyamatkamrákhoz
A St.Cera kerámiagyűrűjét kifejezetten CVD (kémiai gőzfázisú leválasztás) és PVD (fizikai gőzfázisú leválasztás) folyamatkamrákban való használatra tervezték. A 99,8%-ban nagy tisztaságú alumínium-oxidból (Al₂O₃) készült gyűrű kamrabélelésként, fókuszgyűrűként vagy folyamatkészlet-alkatrészként szolgál a plazma korlátozására és a kamrafalak erózió elleni védelmére. Az anyag kiváló plazmaállóságot, nagy átütési szilárdságot (15×10⁶ V/m) és akár 1600°C-ig terjedő hőstabilitást kínál, így hosszú élettartamot biztosít agresszív fluor alapú plazmakörnyezetben. A pontos mérettűrések (±0,05 mm belső/külső átmérőn) és síkfelület (≤10 μm) lehetővé teszik az ostya élének egyenletes pozicionálását, javítva a leválasztás egyenletességét és csökkentve a részecskeképződést.
Specifikációk (99,8%-os Al₂O₃-ra vonatkoztatva):
| Ingatlan | Érték |
| Anyag | 99,8% alumínium-oxid (elefántcsont) |
| Sűrűség | 3,93 g/cm³ |
| Vízfelvétel | 0% |
| Hajlító szilárdság | 361 MPa |
| Törésállóság | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vickers-keménység | 16 GPa |
| Young modulusa | 380 GPa |
| Hővezető képesség | 32 W/m·k |
| Hőtágulás (25–1000°C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Átütési szilárdság | 15 × 10⁶ V/m |
| Fajlagos ellenállás | >10¹⁴ Ω·cm |
| Maximális üzemi hőmérséklet | 1600°C |
Alkalmazások:
- · CVD kamra fókuszgyűrűi és élgyűrűi
- · PVD kamravédő gyűrűk és szorítógyűrűk
- · Maratókamra bélések és fedőgyűrűk
- · Plazmabefogó gyűrűk dielektromos marórendszerekben
Gyártási folyamat:
Izosztatikus préselés → zöld megmunkálás → szinterezés 1600°C-on → CNC belső/külső csiszolás → felületcsiszolás → ultrahangos tisztítás → 100%-os CMM ellenőrzés. Az ultrasima felületkezelés (Ra ≤0,4 μm) minimalizálja a részecskék tapadását.
Minőségellenőrzés:
- · 100%-os méretellenőrzés (belső átmérő, külső átmérő, vastagság, síklapúság)
- · Festékpenetrációs vizsgálat felületi mikrorepedések szempontjából
- · Átütési szilárdsági vizsgálat az ASTM D149 szabvány szerint
- · 20× mikroszkóp alatt nem látható elszíneződés vagy porozitás
Előnyök a fém vagy kvarc gyűrűkkel szemben:
- · 5–10× hosszabb élettartam, mint a fluorplazmában lévő alumíniumgyűrűknél
- · Nincs fémszennyeződés a vékony filmekben
- · Nagyobb plazma ellenállás, mint a kvarc (nincsenek eróziós gödrök)
- · Hosszú távú használat után is megőrzi a >10¹⁴ Ω·cm elektromos szigetelést
Alternatív anyag — szilícium-nitrid (Si₃N₄):
A még nagyobb törési szívósságot (6,2 MPa·m¹/²) és jobb hősokk-állóságot (tágulási együttható 3,2×10⁻⁶/℃) igénylő alkalmazásokhoz Si₃N₄ gyűrűk állnak rendelkezésre. A legtöbb CVD/PVD alkalmazáshoz azonban az alumínium-oxid költséghatékonyabb. Rendeléskor kérjük, adja meg a kívánt anyagot.
Testreszabás:
- · Átmenő furatok, lépcsős profilok vagy süllyesztett furatok a rögzítéshez
- · Y₂O₃-bevonatú felület a fokozott plazma ellenállás érdekében (opcionális)
- · Cikkszám / tételszám lézergravírozása
Jegyzet:A fenti adatok szigorúan a mellékelt Al₂O₃ tulajdonságtáblázatot követik. A Si₃N₄ gyűrűk esetében lásd a különálló Si₃N₄ adatlapot.
