Teflon bevonatú kerámia effektor – tapadásmentes felület az érzékeny ostyakezeléshez
A St.Cera teflon (PTFE) bevonatú kerámia effektora egy nagy szilárdságú alumínium-oxid hordozót kombinál egy egyenletes, alacsony súrlódású PTFE bevonattal (vastagság 15–30 μm). A bevonat rendkívül alacsony súrlódási együtthatót (≤0,1), kiváló vegyi ellenállást és tapadásmentes tulajdonságokat biztosít, megakadályozza a lapkák tapadását és kiküszöböli a hátoldali szennyeződést. Az alatta lévő kerámia hordozó (99,8% Al₂O₃) nagy hajlítószilárdságot (361–1000 MPa), kopásállóságot és 260°C-ig (bevonathatár) terjedő hőstabilitást kínál. Ez az effektor ideális kényes, vékony vagy ragadós lapkák kezelésére (pl. fotoreziszt bevonat vagy kémiai folyamatok után).
Specifikációk (99,8%-os Al₂O₃ tartalmú, PTFE bevonatú aljzaton alapulva):
| Ingatlan | Érték |
| Hordozóanyag | 99,8% alumínium-oxid (elefántcsont) |
| Bevonóanyag | PTFE (teflon) |
| Bevonat vastagsága | 15–30 μm |
| Súrlódási együttható (bevonattal) | ≤0,1 |
| Aljzat hajlítószilárdsága (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Alapanyag keménysége (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Aljzat sűrűsége | 3,93 g/cm³ |
| Max. üzemi hőmérséklet (bevonatolási határ) | 260°C |
| Felületi érdesség (bevonatolás előtt) | Ra ≤0,4 μm |
| Átütési szilárdság (aljzat) | 15 × 10⁶ V/m |
Megjegyzés: A PTFE bevonat a maximális hőmérsékletet 260°C-ra korlátozza; magasabb hőmérsékletű alkalmazásokhoz bevonat nélküli kerámia vagy egyéb bevonatokat kell használni.
Alkalmazások:
- · Szegélylemezek kezelése fotoreziszt bevonat után (ragadós felületek)
- · Vékony vagy törékeny ostyák átvitele (megakadályozza az összetapadást)
- · Félvezető-ellenőrző és méréstechnikai eszközök
- · Tisztatéri automatizálás, ahol minimalizálni kell a részecskeszennyeződést
Gyártási folyamat:
Kerámia hordozó szinterezett és precíziósan köszörült → felület érdesítése (plazmamaratás vagy szemcseszórás) → PTFE szóróbevonat → hőkezelés 380°C-on → végső ellenőrzés. Minden egyes effektort ellenőriznek a bevonat vastagságának (örvényáram), a tapadásnak (keresztvágási vizsgálat ASTM D3359) és a súrlódási együtthatónak megfelelően.
Minőségellenőrzés:
100%-os vizuális ellenőrzés tűszúrások vagy buborékok szempontjából; a bevonat vastagságának egyenletessége ±5 μm-en belül; nincs rétegelválás 90°-os hajlítási vizsgálat után a tanúsító mintán. Méretellenőrzés az OEM tűréshatárának megfelelően (hossz ±0,05 mm, síklapúság ≤0,1 mm).
Előnyök a bevonat nélküli vagy más bevonatokkal szemben:
- · A tapadásmentes felület megakadályozza az ostya összetapadását és törését
- · A kerámia bevonatok között a legalacsonyabb súrlódási együttható
- · Kiváló kémiai ellenállóképesség (savak, bázisok, oldószerek)
- · Csökkenti a részecskeképződést az anyagátadás megakadályozásával
Korlátozások (megjegyzések az anyageltérésről):
A PTFE bevonat nem a mellékelt anyagtulajdonság-táblázatokból származik (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Az aljzat tulajdonságai szigorúan megfelelnek a mellékelt adatlapnak (99,8% Al₂O₃). A bevonat tulajdonságai az ipari szabványú PTFE specifikációkon alapulnak, mivel bevonatra vonatkozó adatokat nem adtak meg. 260°C feletti alkalmazásokhoz bevonat nélküli kerámia effektor ajánlott.*
Testreszabás:
150–1500 mm hosszúságban, csúcsformákkal (élbefogású, Bernoulli, lapos), rögzítőperem mintákkal az OEM rajzok szerint. Részleges bevonat (csak az érintkező felületek) vagy teljes fedés opcionális.
Kérjen mintát tapadás- és súrlódásvizsgálathoz.
