ST.CERA testreszabott félvezető precíziós alumínium-oxid kerámia persely

Rövid leírás:

Nagy tisztaságú (99,5% feletti) alumínium-oxid kerámiából készülnek, hideg izosztatikus préseléssel alakítják ki és magas hőmérsékleten szinterelik, majd precíziósan megmunkálják és polírozzák. A kerámia alkatrészek megfelelnek a félvezető berendezések szigorú követelményeinek, kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően.

A magas hőmérséklet-állóság, a korrózióállóság, a kopásállóság és a szigetelés tulajdonságainak köszönhetően a kerámia sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használható magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok között.

Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.