Ez egy tálcás kerámia effektor / kezelőkar, amelyet vákuum alatt használnak.
A kerámia effektor/kezelőkar „hőállóbb”, „kevésbé eltérítő” és „könnyebb” a fémből készültekhez képest.
A magas hőmérséklet-állóság, a korrózióállóság, a kopásállóság és a szigetelés tulajdonságainak köszönhetően a kerámia sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használható magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok között.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
