-
ST.CERA Egyedi félvezető berendezések Kerámia tokmányok
A félvezető mező kritikus folyamatait tisztatérben kell végezni, különösen azoknál az eszközöknél, amelyeket magas hőmérsékleten, vákuumban és korrozív gázok jelenlétében kell használni. A kerámiák bonyolult fizikai és kémiai környezetben is nagy stabilitást tudnak fenntartani.
-
ST.CERA Egyedi félvezető berendezések Kerámia lemez
A félvezető mező kritikus folyamatait tisztatérben kell elvégezni, különösen azokat az eszközöket, amelyeket magas hőmérsékleten, vákuumban és korrozív gázok jelenlétében kell használni. A kerámiák bonyolult fizikai és kémiai környezetben is nagy stabilitást tudnak fenntartani.
-
ST.CERA Egyedi félvezető kerámia fókuszgyűrű
A félvezető mező kritikus folyamatait tisztatérben kell végezni, különösen azoknál az eszközöknél, amelyeket magas hőmérsékleten, vákuumban és korrozív gázok jelenlétében kell használni. A kerámiák bonyolult fizikai és kémiai környezetben is nagy stabilitást tudnak fenntartani.
-
ST.CERA testreszabott 99,5%-os alumínium kerámia töltőkar
A kerámia effektor/kezelőkar ostyakezelő robotra vagy „effektorra” van felszerelve, és szilícium ostyák kazettákba vagy feldolgozókamrákba történő be- vagy kiszállítására szolgál.
A kerámiák használatának előnyei a nagy hajlítószilárdság miatti alakváltozás csökkentése, a magas hőmérséklettel szembeni ellenállás, valamint a fémszennyeződések és részecskék kiküszöbölése. -
ST.CERA testreszabott alumínium kerámia effektor
Az ST.CERA ESD bevonatot és ESD kerámia anyagot kínál. A nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készült, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szinterezéssel és precíziós kidolgozással készült End Effektor ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃-os hőállóságot biztosít.
-
ST.CERA testreszabott félvezető kerámia fókuszgyűrű
Nagy tisztaságú (99,5% feletti) alumínium-oxid kerámiából készülnek, hideg izosztatikus préseléssel alakítják ki és magas hőmérsékleten szinterelik, majd precíziósan megmunkálják és polírozzák. A kerámia alkatrészek megfelelnek a félvezető berendezések szigorú követelményeinek, kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően.
A magas hőmérséklet-állóság, a korrózióállóság, a kopásállóság és a szigetelés tulajdonságainak köszönhetően a kerámia sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használható magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok között.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
ST.CERA testreszabott félvezető precíziós alumínium-oxid kerámia persely
Nagy tisztaságú (99,5% feletti) alumínium-oxid kerámiából készülnek, hideg izosztatikus préseléssel alakítják ki és magas hőmérsékleten szinterelik, majd precíziósan megmunkálják és polírozzák. A kerámia alkatrészek megfelelnek a félvezető berendezések szigorú követelményeinek, kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően.
A magas hőmérséklet-állóság, a korrózióállóság, a kopásállóság és a szigetelés tulajdonságainak köszönhetően a kerámia sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használható magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok között.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
ST.CERA testreszabott alumínium-oxid kerámia vákuumvég-effektor
Ez egy tálcás kerámia effektor / kezelőkar, amelyet vákuum alatt használnak.
A kerámia effektor/kezelőkar „hőállóbb”, „kevésbé eltérítő” és „könnyebb” a fémből készültekhez képest.
A magas hőmérséklet-állóság, a korrózióállóság, a kopásállóság és a szigetelés tulajdonságainak köszönhetően a kerámia sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használható magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok között.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
ST.CERA testreszabott 99,5%-os alumínium-oxid kerámia csövek és kerámia rudak
A magas hőmérséklet-állóság, a korrózióállóság, a kopásállóság és a szigetelés tulajdonságainak köszönhetően a kerámia sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használható magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok között.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
ST.CERA testreszabott alumínium-oxid kerámia effektor ostyakezelés
Az ST.CERA ESD bevonatú és ESD kerámia anyagú, beépített üreges csatornával ellátott effektor/kezelőkar termékeket kínál. Szakterületünk egy olyan technika, amely vákuumos légcsatornát hoz létre egyetlen anyagdarabban ragasztó használata nélkül.
Nincs szennyeződés, gázkiáramlás vagy részecskék veszélye. Az ST.CERA vákuumos effektora/kezelőkarja speciális bevonattechnológiával rendelkezik, elektromos szigeteléssel rendelkezik. ESD kerámia anyagot is tudunk biztosítani, amely elektromos szigeteléssel rendelkezik bevonat nélkül.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot. -
Alumínium-oxid kerámia végfokozatú félvezető berendezés alkatrészek
Megakadályozza a részecskék keletkezését a ferde vagy szögletes éleknél és a hátsó felületnél, miközben a lapkákat szállítják, vagy amikor azok érintkeznek az effektorral/kezelőkarral.
A vezetőkhöz puha anyagot használtak, amely nem károsítja az ostyát.
A hígítás az ST.CERA beépített vákuumcsatornás technológiájával lehetséges, amely nem használ ragasztókat.
Lehetőség van rögzítőfuratok kialakítására, valamint az alap hosszának és szélességének megváltoztatására, ahová a robotra szerelik az effektort / kezelőkart.
Az érzékelők, csavarok és konzolok szerelése opcionális.
Légköri használatra tervezték.
-
St.Cera kerámia effektor testreszabott CNC megmunkálása
Az ST.CERA vákuumos kerámia effektort / kezelőkart kínál beépített üreges csatornával. Szakterületünk egy olyan technika, amely vákuumos levegőcsatornát hoz létre egyetlen anyagdarabban ragasztó használata nélkül.
Nincs szennyeződés, gázkiáramlás vagy részecskék veszélye. Az ST.CERA vákuumos effektorai/kezelőkarjai beépített csatornával tartósak és magas hőmérsékleten is használhatók. Ezenkívül a gyártási költségeink csökkenthetők a felesleges összeszerelés kiküszöbölésével.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
