-
ST.CERA Testreszabott Félvezető Berendezések Kerámia Tokmányok
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
Kerámia alkatrészek félvezető szondás berendezésekhez
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
Nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámia alkatrészek félvezető és ipari alkalmazásokhoz
A St.Cera precíziós megmunkálású alumínium-oxid (Al₂O₃) kerámia alkatrészeket gyárt az ügyfelek specifikációi szerint. A 99,8%-ban nagy tisztaságú alumínium-oxidból készült alkatrészek kiváló hajlítószilárdságot (361 MPa), nagy keménységet (16 GPa) és kiemelkedő átütési szilárdságot (15×10⁶ V/m) biztosítanak. A félvezető berendezésekhez, kopásálló szerelvényekhez, elektromos szigetelőkhöz és magas hőmérsékletű szerelvényekhez tervezett anyag közel nulla vízfelvételt (0%) és 7,2×10⁻⁶/℃ hőtágulási együtthatót kínál, így extrém körülmények között is méretstabilitást biztosít.
-
Kerámia tartócsap félvezető folyamatrögzítőkhöz
A St.Cera kerámia támasztócsapjait (más néven emelőcsapokat vagy támasztócsapokat) félvezető folyamatkamrákban használják waferek vagy szubsztrátok megemelésére kezelés, melegítés vagy hűtés közben. 99,8%-os alumínium-oxidból vagy szilícium-nitridből készült csapok, amelyek nagy nyomószilárdságot, hőstabilitást és vegyi ellenállást biztosítanak. A félgömb alakú vagy lapos hegyű kialakítás megakadályozza a wafer karcolódását.
-
Nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámia mag félvezető szerelvényekhez
A St.Cera alumínium-oxid kerámia magja 99,8%-ban nagy tisztaságú Al₂O₃-ból precíziósan formázott, kivételes átütési szilárdságot (15×10⁶ V/m), akár 1600°C-os hőstabilitást és terhelés alatti kúszási ellenállást kínál. Ezeket a magokat szerkezeti elemként használják magas hőmérsékletű folyamatberendezésekben, fűtőtestekben, plazmakamra-bélésekben és elektromos szigetelőkben. Az anyag nagy keménysége (16 GPa) és alacsony vízfelvétele (0%) hosszú távú megbízhatóságot biztosít zord környezetben.
-
ST.CERA testreszabva alumínium kerámia gyűrűhöz és kerámia koronghoz
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
