Nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámia mag félvezető szerelvényekhez
A St.Cera alumínium-oxid kerámia magja 99,8%-ban nagy tisztaságú Al₂O₃-ból precíziósan formázott, kivételes átütési szilárdságot (15×10⁶ V/m), akár 1600°C-os hőstabilitást és terhelés alatti kúszási ellenállást kínál. Ezeket a magokat szerkezeti elemként használják magas hőmérsékletű folyamatberendezésekben, fűtőtestekben, plazmakamra-bélésekben és elektromos szigetelőkben. Az anyag nagy keménysége (16 GPa) és alacsony vízfelvétele (0%) hosszú távú megbízhatóságot biztosít zord környezetben.
Specifikációk(99,8%-os Al-tartalom alapján)₂O₃):
| Ingatlan | Érték |
| Anyag | 99,8% alumínium-oxid (elefántcsont) |
| Sűrűség | 3,93 g/cm³ |
| Hajlító szilárdság | 361 MPa |
| Törésállóság | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vickers-keménység | 16 GPa |
| Young modulusa | 380 GPa |
| Hővezető képesség | 32 W/m·k |
| Hőtágulás (25-1000°C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Átütési szilárdság | 15 × 10⁶ V/m |
| Fajlagos ellenállás | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Max. üzemi hőmérséklet | 1600°C |
Alkalmazások:
- · Fűtőmag epitaxiális reaktorokhoz
- · Plazmakamra bélés és fedőlemezek
- · Nagyfeszültségű elektromos szigetelők
- · Rögzítőalap waferkezelő robotokhoz
Gyártás:
Izosztatikus préselés → zöldmegmunkálás → szinterezés 1600°C-on → CNC köszörülés a végső méretekre (±0,01 mm tűréshatár). Minden magot koordináta-mérőgéppel és ultrahangos hibavizsgálattal ellenőriznek.
Minőségbiztosítás:
ISO 9001:2015 tanúsítvánnyal. Festékpenetrációs vizsgálat felületi repedésekre; dielektromos szilárdsági vizsgálat ASTM D149 szabvány szerint.
AElőnyök más kerámiákkal szemben:
- · Nagyobb dielektromos szilárdság, mint a cirkónium-dioxidé (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · Alacsonyabb költség, mint a SiC nem plazma alkalmazásokhoz
- · Kiváló kémiai ellenállás halogénekkel szemben (kivéve HF)
Egyedi alakzatok:
Hengerek, négyzet alakú rudak, lemezek vagy összetett geometriák. Minimális jellemzőméret 0,5 mm.
Egyedi magtervekért és hőszimulációs támogatásért vegye fel velünk a kapcsolatot.
