Nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámia tömítőgyűrű magas hőmérsékletű kamratömítéshez
A St.Cera kerámia tömítőgyűrűjét a polimer O-gyűrűk alternatívájaként tervezték extrém környezetekben, ahol az elasztomerek lebomlanak. 99,8%-ban nagy tisztaságú alumínium-oxidból (Al₂O₃) készült, ez a merev tömítőgyűrű statikus tömítési alkalmazásokban használatos – jellemzően lágy fém vagy grafit tömítéssel párosítva –, hogy megbízható vákuum- vagy gázzárást biztosítson akár 800°C hőmérsékleten, valamint agresszív plazma- vagy kémiai környezetben. Az anyag nulla gázkibocsátást, nagy nyomószilárdságot (alap hajlítószilárdság 361 MPa) és kémiai inertséget (álló halogénekkel, savakkal és lúgokkal szemben, kivéve a HF-et) kínál. A precíziósan leppelt tömítőfelületek (síkság ≤5 μm, felületi érdesség Ra ≤0,2 μm) biztosítják a szivárgásmentes érintkezést az illeszkedő fém vagy kerámia alkatrészekkel.
Specifikációk(99,8%-os Al-tartalom alapján)₂O₃):
| Ingatlan | Érték |
| Anyag | 99,8% alumínium-oxid (elefántcsont) |
| Sűrűség | 3,93 g/cm³ |
| Vízfelvétel | 0% |
| Hajlító szilárdság | 361 MPa |
| Nyomószilárdság (becsült) | >2000 MPa |
| Vickers-keménység | 16 GPa |
| Hőtágulás (25–1000°C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maximális üzemi hőmérséklet | 800°C (levegő), 1600°C (inert) |
| Felületkezelés (tömítőfelület) | Ra ≤0,2 μm (átlapolt) |
| Síklapúság (25 mm-enként) | ≤5 μm |
| Hélium szivárgási sebesség | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (megfelelő tömítéssel) |
Alkalmazások:
- · Félvezető folyamatkamra statikus tömítései (CVD, PVD, maratás)
- · Magas hőmérsékletű kemenceajtó-tömítések
- · Vákuum átvezető karimák
- · Vegyi reaktortartály-lezárások
Gyártási folyamat:
Izosztatikus préselés → szinterezés 1600°C-on → precíziós kétoldalas leppelés az ultralapos, sima tömítőfelületek eléréséhez → élletörés → ultrahangos tisztítás. Minden gyűrű 100%-os szivárgásvizsgálaton esik át egy héliumos szivárgásérzékelőn, standard fémtömítéssel.
Minőségellenőrzés:
- · CMM méretellenőrzés (belső átmérő, külső átmérő, vastagság, párhuzamosság)
- · Felületi profilométer Ra és hullámosság mérésére
- · Síkfelület-mérés optikai síkfelülettel
- · Hélium szivárgásvizsgálat (ellennyomásos módszer)
Előnyök a polimer O-gyűrűkkel szemben:
- · Ellenáll a 800°C-nak az FFKM-hez képest <300°C-nak
- · Nulla gázkibocsátás — a vákuumkörnyezet nem szennyeződik
- · Ellenáll minden plazmakémiai anyagnak (fluor, klór, oxigén)
- · Nincs kompressziós deformáció vagy maradó alakváltozás
- · Korlátlan élettartam tiszta környezetben
Korlátozások (fontos megjegyzések):
- · Nem O-gyűrű— merev kerámiagyűrű, amelynek tömítéséhez puha tömítés (réz, alumínium vagy grafit) szükséges.
- · Nem alkalmazkodik a dinamikus mozgáshoz vagy a perem nagyfokú eltolódásához.
- · Magasabb kezdeti költség, mint a polimer O-gyűrűk esetében, de a hosszabb élettartam csökkenti a fenntartási költségeket.
- · Törékeny – óvatosan kezelje; kerülje a pontszerű ütéseket vagy hajlító igénybevételt.
Jegyzet:A fenti adatok szigorúan a mellékelt Al₂O₃ tulajdonságtáblázatot követik. Elastomer anyagokra vonatkozó adatokat nem adtak meg. Ez a termék egy statikus tömítőgyűrű, nem elastomer O-gyűrű. Kérjük, erősítse meg, hogy ez megfelel-e az alkalmazás követelményeinek.
