Alumínium-oxid PVD szigetelőgyűrű fizikai gőzfázisú leválasztó rendszerekhez
A St.Cera PVD szigetelőgyűrűje 99,8%-ban nagy tisztaságú alumínium-oxidból (Al₂O₃) készül, fizikai gőzfázisú leválasztási (PVD) rendszerekben való használatra. A gyűrű elektromos szigetelést biztosít a kamra alkatrészei között, megakadályozza az ívképződést és biztosítja a stabil plazma működést. Főbb tulajdonságai közé tartozik a nagy átütési szilárdság (15×10⁶ V/m), a >10¹⁴ Ω·mm²/m fajlagos ellenállás és az akár 1600°C-ig terjedő hőstabilitás. Precíziós megmunkálási képességeinkkel akár 600 mm-es külső átmérőt, 0,2 mm-es belső átmérőt, 0,003 mm-es síklapúságot és Ra0,1 felületkezelést érhetünk el. A gyűrű nulla porozitása és kémiai inertsége hosszú távú megbízhatóságot biztosít agresszív porlasztási környezetben.
Specifikációk (99,8%-os Al-ra alapozva)₂O₃& St.Cera gyártási képességek):
| Ingatlan | Érték |
| Anyag | 99,8% alumínium-oxid (elefántcsont) |
| Sűrűség | 3,93 g/cm³ |
| Hajlító szilárdság | 361 MPa |
| Vickers-keménység | 16 GPa |
| Átütési szilárdság | 15 × 10⁶ V/m |
| Fajlagos ellenállás | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Max. külső átmérő | 600 mm |
| Minimális belső átmérő | 0,2 mm |
| Max. vastagság | 100 mm |
| Síkfelület | 0,003 mm |
| Párhuzamosság | 0,002 mm |
| Felületkezelés | Ra0.1 |
| Max. üzemi hőmérséklet | 1600°C |
Alkalmazások:
- · Céltárgy hátlap szigetelők PVD rendszerekben
- · Kamraátvezető szigetelők
- · Árnyékoló gyűrűs szigetelők porlasztásos rendszerekben
- · Nagyfeszültségű szigetelés plazmakamrákban
Gyártási pontosság:
Koncentrikusság: 0,01 mm, kerekdedség: 0,002 mm, egyenesség: 0,005 mm, merőlegesség: 0,005 mm, koordináta-mérő géppel ellenőrizve.
AElőnyök a polimer szigetelőkkel szemben:
- · 1600°C-ot is kibír, szemben a polimerek <300°C-os határértékével
- · Nincs gázkibocsátás – megőrzi a vákuum integritását
- · Ellenáll a plazmaeróziónak és a kémiai támadásnak
Testreszabás:
Egyedi keresztmetszetek, szerelési jellemzők, lépcsőprofilok és többféle koncentrikus gyűrű kialakítás elérhető.
